[发明专利]接合构造体制造方法及加热熔融处理方法以及它们的系统

摘要

本发明提供一种可省略助熔剂除去的工序但仍可减轻基板间的错位的焊合方法。在多个基板（50a、50b）涂布暂时固定剂（55），在通过暂时固定剂（55）将基板彼此暂时固定的状态下利用加热器（33）进行加热，在焊料（54）熔融之前或焊料（54）熔融中使暂时固定剂（55）蒸发，并且通过熔融的焊料（54）将基板（50a、50b）焊接接合。

主权项

一种接合构造体制造方法，其通过加热熔融材料将多个被接合部件之间接合以制造接合构造体，其特征在于，所述接合构造体制造方法包括：准备在所述多个被接合部件的至少一方形成有加热熔融材料的被接合部件的步骤；在所述多个被接合部件彼此对向的面上涂布含有沸点彼此不同的多种非还原性的有机剂的预固定剂，并通过该预固定剂将多个被接合部件之间预固定的预固定步骤；通过在腔室内在含有羧酸蒸汽的气氛中进行加热处理，以无助熔剂的方式使所述加热熔融材料熔融并通过该加热熔融材料将多个被接合部件之间接合的接合步骤；以及在所述接合步骤之前或在所述接合步骤之后或贯穿所述接合步骤进行的通过加热使所述预固定剂蒸发的蒸发步骤，其中所述多种非还原性的有机剂含有：具有使得在所述加热熔融材料熔融之前蒸发的沸点的有机剂，以及具有使得在所述加热熔融材料熔融中蒸发的沸点的有机剂，在所述蒸发步骤中，暂时提高所述腔室内的真空度，以使所述预固定剂容易蒸发。