[发明专利]密封膜形成方法、密封膜形成装置及有机发光元件

摘要

本发明提供密封膜形成方法、密封膜形成装置及有机发光元件。能够以比以往技术更短的时间及低成本形成抗透湿性较高的密封膜。在用于形成用于密封有机EL元件（12）的密封膜（13）的密封膜形成方法中，在有机EL元件（12）的表面上形成第一无机层（13a），在第一无机层（13a）之上形成碳氢化合物层（13c），通过使碳氢化合物层（13c）软化或熔化而使其平坦化，使碳氢化合物层（13c）固化，使碳氢化合物层（13c）固化后，在碳氢化合物层13c之上形成比第一无机层（13a）厚的第二无机层（13e）。

主权项

一种密封膜形成方法，其用于形成用于密封有机发光元件的密封膜，其特征在于，在上述有机发光元件的表面上形成第一无机层，在该第一无机层之上形成碳氢化合物层，通过使该碳氢化合物层软化或熔化而使该碳氢化合物层平坦化，使上述碳氢化合物层固化，使上述碳氢化合物层固化后，在该碳氢化合物层之上形成比上述第一无机层厚的第二无机层。