[发明专利]用于涂覆固体涂层的方法和装置有效
申请号: | 201180033905.3 | 申请日: | 2011-05-19 |
公开(公告)号: | CN102985586A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 迪特尔·费舍尔;马丁·扬森;舍曼·F·德拉富恩特莱斯 | 申请(专利权)人: | 马克斯普朗克科学促进协会 |
主分类号: | C23C14/28 | 分类号: | C23C14/28 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 薛琦;朱水平 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种通过至少一辐射源(2),特别是一激光辐射源在一待涂覆物体(12)上涂覆固体涂层(14)的方法,该方法包括至少一移除步骤:通过该辐射源(2)发射的至少一发射光束(8),将处于固态的一样品(4)的至少多个局部不同的部分(6)移除,以使至少部分该样品(4)转化成气体状态(10)以至少部分沉积于该待涂覆物体(12)上形成一固体涂层(14);在移除过程中改变该发射光束(8)的一光路的取向,同时移动样品(4)。 | ||
搜索关键词: | 用于 固体 涂层 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种通过至少一辐射源(2),特别是一激光辐射源,将一固体涂层(14)涂覆在一待涂覆物体(12)上的方法,该方法至少包括一移除步骤,该移除步骤通过该辐射源(2)发射的至少一光束(8)将处于固体状态的一样品(4)的多个部分(6)移除以将该样品(4)至少部分地转化为一气体状态(10),由此使得该气体状态(10)至少部分地沉积于该待涂覆物体(12)上以形成一固体涂层(14),其中该些部分(6)至少部分不同,其特征在于,在该移除步骤中,改变该发射光束(8)的一光路的取向,同时移动该样品(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于马克斯普朗克科学促进协会,未经马克斯普朗克科学促进协会许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201180033905.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:热管式热水加热器
- 下一篇:一种用于挤出的聚酯弹性体及其制备方法和用途
- 同类专利
- 专利分类