[发明专利]高分辨率自动对焦检查系统

摘要

本发明涉及一种检查装置，其包括相机组件，所述相机组件包括：捕获与所检查的物体相关的光并使所述光准直的物镜，基于准直光形成所述物体的图像的成像透镜，以及呈现所述图像的相机。所述相机组件限定距所述物镜的焦点距离，所述物镜限定所述相机组件的焦点。所述检查装置包括：光学传感器，其经定位以检测所述物镜与所述物体之间的实际距离；致动器，其控制所述物镜的定位，以便控制所述物镜与所述物体之间的所述实际距离；以及控制单元，其从所述光学传感器接收表示所述实际距离的信号。来自所述控制单元的控制信号可控制所述致动器，以调整所述实际距离，从而使得所述实际距离基本等于所述焦点距离。

主权项

一种检查装置，其包括：相机组件，其包括：捕获与所检查的物体相关的光并使所述光准直的物镜，基于准直光形成所述物体的图像的成像透镜，以及呈现所述图像以用于检查所述物体的相机，其中所述相机组件限定距所述物镜的焦点距离，所述物镜限定所述相机组件的焦点；光学传感器，其经定位以检测所述物镜与所述物体之间的实际距离；致动器，其控制所述物镜的定位，从而控制所述物镜与所述物体之间的所述实际距离，其中当所述致动器移动所述物镜时，所述成像透镜保持在固定位置；以及控制单元，其从所述光学传感器接收表示所述实际距离的信号，并且产生用于所述致动器的控制信号，以调整所述实际距离，从而使得所述实际距离保持基本等于所述焦点距离。