[发明专利]薄膜超声换能器有效
| 申请号： | 201180037543.5 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN103097041A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | M.克里;R.毛茨奧克;H.M.J.布特斯;N.M.A.德维尔德;B.K.斯里德哈兰奈尔;O.旺尼科;W.F.帕斯维尔;D.范德拉格马特;P.迪克森 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 初媛媛;汪扬 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种换能器（11），包括：-隔膜（31），配置为响应于力而改变形状，所述隔膜（31）具有第一主要表面（16）和第二主要表面（17）；-在所述隔膜（31）的第一主要表面（16）之上形成的压电层（18），所述压电层（18）具有活性部分；-与所述压电层（18）相接触的第一和第二电极（19），其中，第一和第二电极（19）之间的电场确定所述压电层（18）的机械移动；-所述压电层（18）的活性部分的相邻侧上隔膜（15）的第二主要表面（17）处的支座结构（40），所述支座结构（40）的至少一部分形成与所述隔膜（31）的第二主要表面（17）垂直或至少不平行的壁，以形成位于所述活性部分之下的任何形状的沟槽（41），从而获得超声换能器，所述超声换能器在支座侧处具有与相反侧处相比高的输出压力。本发明还涉及一种形成这种换能器的方法以及一种包括这样的至少一个换能器的阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 超声 换能器 | ||
【主权项】：
一种换能器（11），包括：‑ 隔膜（31），配置为响应于力而改变形状，所述隔膜（31）具有第一主要表面（16）和第二主要表面（17）；‑ 在所述隔膜（31）的第一主要表面（16）之上形成的压电层（18），所述压电层（18）具有活性部分；‑ 与所述压电层（18）相接触的第一和第二电极（19），其中，第一和第二电极（19）之间的电场确定所述压电层（18）的机械移动；‑ 所述压电层（18）的活性部分的相邻侧上隔膜（31）的第二主要表面（17）处的支座结构（40），所述支座结构（40）的至少一部分形成与所述隔膜（15、31）的第二主要表面（17）垂直或至少不平行的壁，以形成位于所述活性部分之下的任何形状的沟槽（41），从而获得超声换能器，所述超声换能器在支座侧（40）处具有与相反侧处的输出压力相比更高的输出压力。
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