[发明专利]带电粒子检测器

摘要

公开了一种用于成像和处理目标的带电粒子束系统，包括带电粒子柱、二次粒子检测器、以及位于目标和检测器之间的二次粒子检测栅极组件。在一个实施例中，栅极组件包括多个栅极，每个具有独立偏压，其中，目标和栅极之间的电场可使用栅极电压调节以优化到达检测器的二次粒子的空间分布。由于检测器寿命由检测器上的接收最大剂量的区域处积聚的总剂量确定，通过使得进入检测器的剂量空间上更一致，可增加检测器寿命。具有径向电压梯度的单个电阻栅极组件可取代独立栅极。多个偏转电极可位于目标和栅极之间以增强电场的成形。

主权项

一种带电粒子系统，包括：带电粒子柱，用于将一次带电粒子束聚焦到目标表面上，其中，带电粒子束与目标碰撞引起二次粒子从目标发射；带电粒子检测器组件，包括：检测器，用于产生电信号，所述电信号对应于碰撞检测器的带电粒子的数量；位于带电粒子检测器和目标表面之间的至少一个栅极，用于使得带电粒子从目标移动到检测器；以及偏转二次带电粒子以减少撞击在带电粒子检测器上的带电粒子最大电流密度的场源，从而延长带电粒子检测器的有用寿命。