[发明专利]具有轻度掺杂的排出装置的化学敏感的传感器有效
| 申请号： | 201180040544.5 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN103168341A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | K.G.法伊夫 | 申请（专利权）人： | 生命科技公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 曲宝壮;李浩 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有轻度掺杂的区域的化学敏感的传感器，所述轻度掺杂的区域会影响化学敏感的传感器的栅和电极之间的重叠电容。所述轻度掺杂的区域在化学敏感的传感器的栅区域的下面且邻近地延伸。通过操纵在电极下面的轻度掺杂的区域，实现对化学敏感的传感器的增益的修改。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 轻度 掺杂 排出 装置 化学 敏感 传感器 | ||
【主权项】：
一种化学敏感的传感器，其包括：与基质上的栅电极电联接的浮动栅；排出装置终端连接；源终端连接；在所述基质中的一对掺杂区域，每个掺杂区域包括轻度掺杂的区域和高度掺杂的区域，其中每个所述轻度掺杂的区域在所述基质上的所述栅电极之下延伸，且每个所述高度掺杂的区域延伸以分别与所述排出装置终端和所述源终端联接。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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