[发明专利]钼(IV)酰胺前驱物和其在原子层沉积中的用途有效
| 申请号： | 201180041532.4 | 申请日： | 2011-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN103097394A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 彼得·尼古拉·海斯;拉杰什·奥德德拉;萨拉赫·路易斯·欣德利 | 申请（专利权）人： | 辛格玛艾瑞契有限责任公司 |
| 主分类号： | C07F11/00 | 分类号： | C07F11/00;C07F17/00;C23C16/40 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本文揭示钼(IV)酰胺络合物，其结构对应于式(I)： |
||
| 搜索关键词： | iv 前驱 原子 沉积 中的 用途 | ||
【主权项】：
一种络合物Mo[N(Me)(Et)]4。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于辛格玛艾瑞契有限责任公司，未经辛格玛艾瑞契有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180041532.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：油井稀释剂管式泵的改进型井下装置
- 下一篇：双管多井配水系统及其配水方法
