[发明专利]预防干燥期间高纵横比结构崩塌的方法无效
| 申请号： | 201180041631.2 | 申请日： | 2011-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN103081072A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈天牛;斯蒂芬·比洛德奥;许志民;中西睦;松冈正弘;中山文雄;张鹏;迈克尔·B·克尔赞斯基;埃马纽尔·I·库珀;凯特·维卡莱里;马康南·佩恩 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/302 | 分类号： | H01L21/302 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 刘慧;杨青 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及降低易碎高纵横比结构在干燥期间所经受的毛细力，以实质上地预防该高纵横比结构在干燥期间损伤的方法。该方法包括修饰高纵横比结构的表面，以使该力充分地减至最小，且因此少于10%的高纵横比特征会在其上具有该特征的结构的干燥期间弯曲或崩塌。 | ||
| 搜索关键词： | 预防 干燥 期间 纵横 结构 崩塌 方法 | ||
【主权项】：
修饰高纵横比特征的表面的方法，该方法包括：使该高纵横比特征的表面与添加剂组合物接触以产生经修饰表面，其中，当冲洗溶液与经修饰表面接触时，作用于该高纵横比特征上的力被充分地最小化，以至少在移除该冲洗溶液或至少在干燥该高纵横比特征期间防止高纵横比特征弯曲或崩塌。
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