[发明专利]层叠型半导体陶瓷电容器的制造方法、以及层叠型半导体陶瓷电容器有效
申请号: | 201180041685.9 | 申请日: | 2011-12-16 |
公开(公告)号: | CN103098157A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 川本光俊 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01G4/12 | 分类号: | H01G4/12;H01G4/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王亚爱 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | SrTiO3系晶界绝缘型的层叠型半导体陶瓷电容器的制造方法具有:预烧粉末制作工序,称量规定量的Sr化合物、Ti化合物以及施主化合物进行混合粉碎后,进行预烧处理来制作预烧粉末;热处理粉末制作工序,将受主化合物与预烧粉末混合,进行热处理来制作热处理粉末;层叠体形成工序,对所述热处理粉末实施成型加工来制作陶瓷生片,此后将内部电极层与陶瓷生片交替地层叠来形成层叠体;以及煅烧工序,在还原气氛下,对所述层叠体进行了一次煅烧处理,其后在大气气氛下进行二次煅烧处理,其中,在450℃~580℃的温度气氛下进行所述二次煅烧处理。由此,即使静电电容是1nF左右的低电容,也能够实现ESD的吸收性能良好的SrTiO3系晶界绝缘型的层叠型半导体陶瓷电容器。 | ||
搜索关键词: | 层叠 半导体 陶瓷 电容器 制造 方法 以及 | ||
【主权项】:
一种层叠型半导体陶瓷电容器的制造方法,其具有:预烧粉末制作工序,称量规定量的Sr化合物、Ti化合物以及施主化合物,进行混合粉碎后进行预烧处理来制作预烧粉末;热处理粉末制作工序,将受主化合物与所述预烧粉末混合,进行热处理来制作热处理粉末;层叠体形成工序,对所述热处理粉末实施成型加工来制作陶瓷生片,此后将内部电极层与陶瓷生片交替地层叠来形成层叠体;以及煅烧工序,在还原气氛下对所述层叠体进行了一次煅烧处理后,在大气气氛下进行二次煅烧处理,其中,在450℃~580℃的温度气氛下进行所述二次煅烧处理。
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