[发明专利]在光伏用途中由三烷基铝生长Al2O3薄膜有效
| 申请号： | 201180042555.7 | 申请日： | 2011-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN103080115A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | N·布拉斯科;G·丁厄曼斯;W·M·M·克塞尔斯;C·拉绍;A·马德克 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;艾恩德霍芬理工大学 |
| 主分类号： | C07F5/06 | 分类号： | C07F5/06;C23C16/455;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 彭飞;林柏楠 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 一种组合物，以其总质量为100％，其包含至少97％的三烷基铝和：-200ppb至5ppm的Mo（钼）；-1000ppb至5ppm的Fe（铁）；-200ppb至5ppm的Cu（铜）；-200ppb至10ppm的Ta（钽）。 | ||
| 搜索关键词： | 用途 烷基 生长 al sub 薄膜 | ||
【主权项】：
组合物的用途，用于硅片基光伏太阳能电池所用的Al2O3生长，以其总质量为100％，所述组合物包含至少97％的三烷基铝和：‑200ppb至5ppm的Mo（钼）；‑1000ppb至5ppm的Fe（铁）；‑200ppb至5ppm的Cu（铜）；‑200ppb至10ppm的Ta（钽）。
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