[发明专利]用于光伏用途的Al2O3薄膜的生长有效
| 申请号： | 201180042556.1 | 申请日： | 2011-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN103108982A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | N·布拉斯科;G·丁厄曼斯;W·M·M·克塞尔斯;C·拉绍;A·马德克;S·波特斯 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;艾恩德霍芬理工大学 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/455;C07F5/06;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 彭飞;林柏楠 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种组合物，以其总质量为100％，其包含至少97％的式Al(R1)2(OR2)的铝前体，其中R1和R2独立地选自甲基、乙基、丙基、异丙基和叔丁基；和：200ppb至5ppm的Mo（钼）；1000ppb至5ppm的Fe（铁）；200ppb至5ppm的Cu（铜）；200ppb至5ppm的Ta（钽）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 用途 al sub 薄膜 生长 | ||
【主权项】：
组合物的用途，用于硅片基光伏太阳能电池所用的Al2O3生长，以其总质量为100％，所述组合物包含至少97％的式Al(R1)2(OR2)的铝前体，其中R1和R2独立地选自由甲基、乙基、丙基、异丙基和叔丁基组成的组；和：‑200ppb至5ppm的Mo（钼）；‑1000ppb至5ppm的Fe（铁）；‑200ppb至5ppm的Cu（铜）；‑200ppb至5ppm的Ta（钽）。
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- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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