[发明专利]用于检测基于电压的等离子体偏移的系统与方法无效
| 申请号： | 201180043322.9 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103098558A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | J·陈;M·阿优伯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/3065;C23C16/50 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种在等离子体处理期间藉由直接监视等离子体处理腔室的射频（RF）功率电极上的直流(DC)偏置电压以检测诸如电弧、微电弧或其它等离子体不稳定性的等离子体偏移的系统及方法。受监视的直流偏置电压随后通过连续多个模拟滤波器与放大器以提供等离子体偏移信号。该等离子体偏移信号与预设值比较，并且在该等离子体偏移信号超过该预设值的点处产生警报信号。该警报信号随后反馈至系统控制器中，使得操作者可收到警告和/或可使该处理系统停机。在某些实施例中，可藉由单一检测控制单元监视多个处理区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 基于 电压 等离子体 偏移 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于检测等离子体腔室中的等离子体偏移的方法，所述方法包括：在等离子体处理期间直接感测所述等离子体腔室中来自射频(RF)供电电极的偏置电压；使用多个模拟滤波器过滤所述偏置电压以获得输出电压信号；比较所述输出电压信号与代表等离子体偏移事件的预设电压值；以及如果所述输出电压信号超过所述预设电压值，则产生警报信号。
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