[发明专利]研磨液组合物的制造方法有效
| 申请号： | 201180045169.3 | 申请日： | 2011-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN103119122A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 米田康洋;平幸治;佐藤宽司;大岛良晓 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够减少研磨后的被研磨物的表面粗糙度及颗粒的研磨液组合物的制造方法。本发明涉及研磨液组合物的制造方法，其具有如下工序：将含有一次粒子的平均粒径为1～100nm的胶态二氧化硅的被处理二氧化硅分散液，用包含过滤助剂的过滤器进行过滤处理的工序，其中，利用汞压入法测定的所述过滤助剂的平均细孔径为0.1～3.5μm。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨液组合物的制造方法，其具有如下所述的工序：将含有一次粒子的平均粒径为1～100nm的胶态二氧化硅的被处理二氧化硅分散液，用包含过滤助剂的过滤器进行过滤处理的工序，其中，所述过滤助剂的利用汞压入法测定的平均细孔径为0.1～3.5μm。
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