[发明专利]用于光学扫描表面区域内或上的边缘的方法有效

专利信息
申请号: 201180046030.0 申请日: 2011-09-16
公开(公告)号: CN103370598A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: U·内泽;M·比希纳 申请(专利权)人: 卡尔.马尔控股有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 丁永凡;卢江
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于通过光学扫描来测定所关注的目标表面区域内的边缘的位置的方法。为此,对目标表面区域的反射系数进行分析。在不同的照射状态下,尤其是按不同的照射方向,光线被照射到目标表面区域并且在每个照射状态拍摄包含多个图像B的图像序列S1~Sn。图像序列S1~Sn的每个图像B以另一光照强度I拍摄。随后,从一个图像序列S1~Sn的大部分或全部的图像B中分别生成反射图像R1~Rn。随后,通过以加权方式相加而从大部分或全部的反射图像R1~Rn像中生成结果反射图像,在所述结果反射图像内,通过使用至少一个边缘定位准则亚像素精确地确定所关注的目标表面区域内的或目标表面区域上的边缘的位置。
搜索关键词: 用于 光学 扫描 表面 区域内 边缘 方法
【主权项】:
一种用于光学测定目标(9)的目标表面区域(12)内的或目标表面区域(12)上的边缘(11)的方法,包括下述步骤:以第一光源组(15)或从第一照射方向(L1)照射目标表面区域(12)和分别以不同的光照强度(I)对目标表面区域(12)拍摄一个包含多个图像(B)的图像序列(S1),分别以不同的光照强度(I)对目标表面区域(12)拍摄至少另一个包含多个图像(B)的图像序列(S2~Sn),其中,在全部的图像序列(S1~Sn)中,分别通过另一个光源组(15)或从另一个照射方向(L2)照射目标表面区域(12),从对应的图像序列(S1~Sn)的至少几个图像(B)中分别为每个图像序列(S1~Sn)形成局部分辨的反射图像(R1~Rn),和使用至少一个反射图像(R1~Rn)测定目标表面区域(12)内的或目标表面区域(12)上的至少一个边缘(11)。
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