[发明专利]图案形成方法无效
申请号: | 201180046659.5 | 申请日: | 2011-09-26 |
公开(公告)号: | CN103124928A | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 梅泽朋一 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/32;G03F7/40;H01L21/027 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本东京港区*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种图案形成方法,此方法通过热光刻来形成负型图案。在基板上形成包含氧杂菁系色素的抗蚀剂层,在所形成的抗蚀剂层上以大于等于1m/s且小于等于30m/s的扫描速度使激光进行扫描,用以醇为主要成分的显像液使激光所扫描的抗蚀剂层显像。 | ||
搜索关键词: | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】:
一种图案形成方法,通过热光刻来形成图案,其特征在于:在基板上形成包含氧杂菁系色素的抗蚀剂层,在所形成的所述抗蚀剂层上以大于等于1m/s且小于等于30m/s的扫描速度使激光进行扫描,用以醇为主要成分的显像液使所述激光所扫描的所述抗蚀剂层显像。
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