[发明专利]感应加热装置

摘要

一种感应加热装置，其能够实现防止对在腔室外部配置的磁极进行加热并且高效地加热被感应加热部件。该感应加热装置（10）具有：构成处理室的腔室（12）、与磁透射性遮蔽板（46）接近配置的磁极（32、34）和卷绕于磁极（32、34）的感应加热线圈（36、38），所述磁透射性遮蔽板（46）遮蔽设于腔室（12）外周即构成腔室（12）的壳体（26）的开口部（42），其特征在于，在磁透射性遮蔽板（46）和磁极（32、34）之间设置热传导率比磁透射性遮蔽板（46）高的冷却板（48）和可插通用于冷却冷却板（48）的制冷剂的冷却管（50），使冷却板（48）与磁透射性遮蔽板（46）密接，并且使冷却管（50）与冷却板（48）的至少一部分密接，在冷却板（48）和磁极（32、34）之间设有空隙。

主权项

一种感应加热装置，其特征在于，具有构成处理室的腔室和与磁透射性遮蔽板接近配置的感应加热线圈或感应加热线圈用磁极，所述磁透射性遮蔽板遮蔽设于所述腔室外周即构成所述腔室的隔壁部件的开口部，其中，为了冷却所述磁透射性遮蔽板，具备与所述磁透射性遮蔽板密接或接近的冷却板。