[发明专利]蒸镀装置

摘要

蒸镀装置(50)包括：掩模单元(54)，其包括蒸镀源(70)、蒸镀掩模(60)和掩模保持部件(80)；基板保持具(52)；掩模单元移动机构(55)和基板移动机构(53)中的至少一个。在基板保持具(52)和掩模保持部件(80)中的至少一个的与另一个相对的面，设置有辊(83)。

主权项

一种蒸镀装置，其特征在于：其为在被成膜基板进行规定的图案的成膜的蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：保持所述被成膜基板的基板保持部件；掩模单元，其包括蒸镀源、蒸镀掩模和掩模保持部件，其中，所述蒸镀源射出蒸镀颗粒，所述蒸镀掩模具有开口部、使从所述蒸镀源射出的蒸镀颗粒通过所述开口部蒸镀到所述被成膜基板，所述掩模保持部件保持所述蒸镀掩模，所述蒸镀掩模比所述被成膜基板面积小，所述蒸镀源和蒸镀掩模的相对位置被固定；和使所述掩模单元和基板保持部件中的至少一个相对移动而进行扫描的移动机构，所述基板保持部件和掩模保持部件，以在扫描时所述蒸镀掩模和被成膜基板相对的方式相互相对配置，在所述基板保持部件和掩模保持部件中的至少一个的与另一个相对的面，设置有空隙保持部件，该空隙保持部件向所述基板保持部件和掩模保持部件中的另一个突出，在扫描时与相对的部件接触而在扫描方向转动，由此在扫描时将所述蒸镀掩模和被成膜基板之间的空隙保持为固定。