[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、聚合物及化合物有效

专利信息
申请号: 201180047387.0 申请日: 2011-09-28
公开(公告)号: CN103140551A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 池田宪彦;中村真一 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: C08L33/04 分类号: C08L33/04;C08F220/18;C08F224/00;C08L37/00;G03F7/039
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 左嘉勋;顾晋伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物,其含有[A]具有来自下述式(1)表示的化合物的结构单元(I)和来自下述式(2)表示的化合物的结构单元(II)的聚合物、[B]产酸体和[C]有机溶剂。式(1)中,R1与构成内酯环的碳原子一起形成碳原子数3~8的环结构。R2为氟原子、羟基或碳原子数1~20的有机基团。a为0~6的整数。a为2以上时,多个R2可以相同或不同,也可以互相结合而形成环结构。其中,R1和R2中的至少1个基团具有杂原子或卤素原子。
搜索关键词: 放射线 敏感性 树脂 组合 聚合物 化合物
【主权项】:
1.一种放射线敏感性树脂组合物,其特征在于,含有:[A]具有结构单元I和结构单元II的聚合物,所述结构单元I来自下述式(1)表示的化合物,所述结构单元II来自下述式(2)表示的化合物,[B]产酸剂,和[C]有机溶剂,式(1)中,R1为与构成内酯环的碳原子一起形成碳原子数3~8的环结构的(a+2)价的有机基团;R2为氟原子、羟基或碳原子数1~20的有机基团;a为0~6的整数;a为2以上时,多个R2可以相同或不同,也可以互相结合而形成环结构;其中,R1和R2中的至少1个基团具有杂原子或卤素原子;R3为氢原子或甲基;R4为氢原子、氟原子、或碳原子数1~6的烷基;R5为氢原子、或者可以与R4结合而与它们所结合的碳原子一起形成碳原子数3~8的环烷二基;式(2)中,R6为氢原子或甲基;R7、R8和R9各自独立地为碳原子数1~6的烷基,该烷基的氢原子可以被取代;另外,R7和R8可以互相结合而与它们所结合的碳原子一起形成环结构。
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