[发明专利]成膜装置和成膜材料供给方法

摘要

本发明提供能够抑制蒸气产生部内部的压力上升和温度上升，能够进行精密的温度控制的成膜装置。对玻璃基板（G）进行成膜处理的成膜装置具有：収容玻璃基板（G）的处理室（5）；通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气的蒸气产生部（1）；用于将在蒸气产生部（1）中产生的成膜材料的蒸气与运载气体一起输送到处理室（5）的输送路径（21）；排气路径（22）；设置在输送路径途中的调节阀装置（31）；和设置在排气路径（22）途中的排气阀装置（32）；对蒸气产生部（1）的温度进行检测的材料温度检测部（64）；第一蒸气量检测部（23）；和控制部（8），在对成膜材料进行加热时，根据蒸气产生部（1）的温度的高低，对排气阀装置（32）的开关动作进行控制，在将成膜材料向上述处理室输送时，在由第一蒸气量检测部（23）检测出的蒸气量稳定时，关闭排气阀装置（32），打开调节阀装置（31）。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具有：収容被处理基板的处理室；通过对成膜材料进行加热，产生该成膜材料的蒸气的蒸气产生部；用于将在该蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气与运载气体一起向所述处理室输送的输送路径；用于对在所述蒸气产生部中产生的成膜材料的蒸气进行排气的排气路径；设置在所述输送路径的途中，对所述输送路径进行开关的第一开关阀；和设置在所述排气路径的途中，对所述排气路径进行开关的第二开关阀，该成膜装置还具有：对所述蒸气产生部的温度进行检测的温度检测单元；对从所述蒸气产生部输送的成膜材料的蒸气量进行检测的蒸气量检测单元；和控制单元，在对成膜材料进行加热时，根据由该温度检测单元检测出的温度的高低，对所述第二开关阀的开关动作进行控制，在将成膜材料向所述处理室输送时，根据由所述蒸气量检测单元检测出的蒸气量，对所述第一开关阀和第二开关阀的开关动作进行控制。