[发明专利]结构化照明装置、结构化照明显微镜装置以及面形状测定装置有效
| 申请号： | 201180049642.5 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103189778A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 野村达士 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G01N21/64;G02F1/11 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于使图像取得高速化，因此本发明的结构化照明装置具备：光调制器(3)，其配置在从光源出射的出射光束中，在横截该出射光束的方向上配有声波传播路；驱动机构(19)，其通过将用于使所述声波传播路的介质振动的驱动信号提供给所述光调制器，在所述声波传播路内生成声波驻波；和照明光学系统(4-9)，其使穿过了所述声波传播路的所述出射光束的互不相同的衍射成分进行干涉，将其干涉条纹形成于被观察物。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 照明 装置 显微镜 以及 形状 测定 | ||
【主权项】：
一种结构化照明装置，其特征在于，具备：光调制器，其配置在从光源出射的出射光束中，在横截该出射光束的方向上配有声波传播路；驱动机构，其通过将用于使所述声波传播路的介质振动的驱动信号提供给所述光调制器，在所述声波传播路内生成声波驻波；和照明光学系统，其使穿过了所述声波传播路的所述出射光束的互不相同的衍射成分进行干涉，将其干涉条纹形成于被观察物。
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