[发明专利]宽带声耦合薄膜BAW滤波器

摘要

本发明涉及声耦合薄膜BAW滤波器，包括：压电层(1)；位于压电层(1)上的输入端口(2)，用于将电信号转变成声波(SAW,BAW)；以及位于压电层(1)上的输出端口(3)，用于将声信号转变成电信号。根据本发明，端口(2,3)包括定位成彼此接近的电极(5,6)，并且所述滤波器设计成能够在一阶厚度伸缩的TE1模式中操作。

主权项

声耦合薄膜BAW滤波器，包括：压电层(1)，位于所述压电层(1)上的输入端口(2)，用于将电信号转变成声波，和位于所述压电层(1)上的输出端口(3)，用于将声信号转变成电信号，其特征在于，端口(2,3)包括定位成能实现声耦合的电极(5,6)，所述滤波器能够在一阶厚度伸缩的TE1模式中操作，和其中，顶部电极（板背）的质量负载设置成使得电极区域的TE1模式的k=0频率和外部区域的TS2模式的k=0频率之间的频率差相对较小。