[发明专利]等离子体点燃和维持的方法及装置有效
| 申请号： | 201180050020.4 | 申请日： | 2011-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN103153517A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·马丁·保罗·本杰明;安德莱斯·费舍 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B23K9/00 | 分类号： | B23K9/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于产生等离子体的装置，其包括等离子体产生容器以及线圈，所述线圈具有线圈长度以及第一组部分封闭的、纵向取向的导电（PELOC）指状件和第二组PELOC指状件。PELOC指状件组沿着容器的纵轴线取向，使得每个PELOC指状件组部分地封闭容器的周边。两组PELOC指状件被定向为指状件尖端朝向指状件尖端并且相隔组间距离，该组间距离小于线圈长度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 点燃 维持 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于产生等离子体的装置，其包括：容器，在所述容器内产生所述等离子体；以及线圈，其被配置为接收RF驱动器信号以至少维持所述等离子体，所述线圈具有线圈长度；第一组部分封闭的、纵向取向的导电（PELOC）指状件，其沿着所述容器的纵轴线取向并且部分地封闭所述容器的周边，所述第一组PELOC指状件与所述线圈的第一端电联接；以及第二组部分封闭的、纵向取向的导电（PELOC）指状件，其沿着所述容器的所述纵轴线取向并且部分地封闭所述容器的所述周边，所述第二组PELOC指状件与所述线圈的第二端电联接，其中所述第一组PELOC指状件和所述第二组PELOC指状件被定向为使得所述第一组PELOC指状件的指状件尖端指向朝向所述第二组PELOC指状件的指状件尖端的方向并且相隔小于所述线圈长度的组间距离。
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