[发明专利]用于增强热丝化学气相沉积工艺中的钽灯丝寿命的方法有效
| 申请号： | 201180050142.3 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN103168115A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 拜平·塔库尔;乔·格里菲思克鲁兹;斯蒂芬·凯勒;维卡斯·古扎尔;亚努·拉万德·帕蒂尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/448 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供利用热丝化学气相沉积（HWCVD）工艺沉积膜的方法。在一些实施例中，操作HWCVD工具的方法包括提供氢气（H2）至灯丝，历经第一时段，灯丝置于HWCVD工具的处理腔室中；以及经过第一时段后，使电流流过灯丝，以将灯丝温度提高至第一温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 增强 化学 沉积 工艺 中的 灯丝 寿命 方法 | ||
【主权项】：
一种操作热丝化学气相沉积（HWCVD）工具的方法，所述方法包含：提供氢气（H2）至灯丝，历经第一时段，所述灯丝置于所述HWCVD工具的处理腔室中；以及经过所述第一时段后，使电流流过所述灯丝，以将所述灯丝的温度提高至第一温度。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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