[发明专利]制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法和设备有效
| 申请号： | 201180050296.2 | 申请日： | 2011-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN103168351A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·毕罗;简·施佩希特;丹尼尔·舍菲勒;马克西米利安·波斯皮希尔;F·克莱芒 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H05K3/12;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 孟桂超;张颖玲 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法，为了形成这种接触结构，将含金属微粒的膏状物通过至少一个输出口施加到基体表面，在膏状物输出时，输出口和基体相对彼此运动。本发明的特征是，膏状物在循环区域内循环，分别在多个分支部处从循环区域中分出膏状物的一部分并且每个分支部配设至少一个输出口，通过输出口将在分支部分出的膏状物施加到基体的表面上，膏状物在自循环区域被分出至自配设给该分支部的输出口处被输出之间流动通过长度小于1cm的流动路径。此外本发明还涉及一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 用于 接通 光电 太阳能电池 金属 接触 结构 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种制造用于电接通光电太阳能电池的金属接触结构的方法，为了形成这种接触结构，将含金属微粒的膏状物通过至少一个输出口施加到基体(5)表面，在膏状物输出时，输出口和基体相对彼此运动；其特征是，膏状物在循环区域内循环，分别在多个分支部处从循环区域中分出膏状物的一部分并且每个分支点配设至少一个输出口，通过输出口将在分支部分出的膏状物施加到基体的表面上，膏状物在自循环区域被分出至自配设给该分支部的输出口处被输出之间流动通过长度小于5cm的流动路径。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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