[发明专利]用于涂布基材的装置及方法有效
| 申请号： | 201180050810.2 | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103403220A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | J·埃尔里希;E·M·诺瓦克;A·卡斯帕里 | 申请（专利权）人： | 莱博德光学有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周志明;杨国治 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于涂布基材(20)表面(21)的装置(1)。该装置包括加工室(2)，加工室带有用来产生涂层粒子(19)的粒子源(3)，涂层粒子在操作过程中—除了所希望的对基材表面的涂布外—还沉积在加工室(2)的内壁(5)上，并且沉积在设置于该加工室中的防护装置(41)上。随着工作时间增加，这些沉积物(6)的层厚度增加，直到沉积物剥落，这会导致要涂布的基材表面被污染。为了防止这种情况，在加工室(2)的内壁(5)上和/或在防护装置(41)上设置有防护网(10，10′)，所述防护网防止剥落的薄片(6，7)进入到加工室(2)的内腔(7)中。防护网(10，10′)优选由金属板网组成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基材 装置 方法 | ||
【主权项】：
用于涂布基材(20)表面(21)的装置(1)，‑带有加工室(2)，用来在涂布过程中容纳基材(20)，‑并且带有粒子源(3)，用来产生涂层粒子(19)，其特征在于，在加工室(2)的内腔(17)中设置有防护网(10，10′)，该防护网布置在粒子源(3)与面向内腔(17)的表面(5，5′)之间，并且具有孔眼(14)，孔眼远大于蒸汽粒子(19)的平均直径，但是小于因沉积物(6)从表面(5，5′)剥落而产生的薄片(7)。
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