[发明专利]加热装置有效
| 申请号： | 201180051175.X | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103180267A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 近藤畅之;渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/04;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 徐晓静 |
| 地址： | 日本国爱知县名*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热装置（11A），其包括具有加热半导体的加热面（12a）的基座（12A）。基座（12A）包括板状主体部（13）和面向加热面的表面耐腐蚀层（14）。表面耐腐蚀层（14）由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种加热装置，其包括具有加热半导体的加热面的基座，所述加热装置的特征在于，所述基座包括板状主体部与面向所述加热面的表面耐腐蚀层，所述表面耐腐蚀层由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。
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