[发明专利]形状测定装置、形状测定方法、构造物的制造方法及程序有效
| 申请号： | 201180051998.2 | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN103180691A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 神藤建太 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本东京都千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 简化对被检测物之测定区域之设定处理(教示处理)。形状测定装置，具备：检测部20，检测出具有三维形状的被检测物的表面形状；以及区域设定部58，根据在预先决定的指定区域检测出的形状测定数据，将与前述指定区域相邻的区域设定为测定区域。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 方法 构造 制造 程序 | ||
【主权项】：
一种形状测定装置，是测定具有三维形状的被检测物的表面形状，其特征在于，具备：检测部，检测具有三维形状的被检测物的表面形状；以及区域设定部，根据指定区域的形状信息，将与前述指定区域相邻的区域设定为测定区域。
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