[发明专利]蚀刻膏，其生产方法以及使用其形成图案的方法无效
| 申请号： | 201180052357.9 | 申请日： | 2011-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN103210058A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 沈在俊 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/04 | 分类号： | C09K13/04;C23F1/10 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的蚀刻膏包括:(a)有机粘合剂;(b)磷酸;(c)含氮化合物;以及(d)溶剂，并且所述(c)含氮化合物是选自胺类化合物或铵类化合物的一种或多种这类化合物。所述蚀刻膏可实现精细的线宽、具有优良的蚀刻特性，并且可以改善由蚀刻膏引起的对于设备的损害。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 生产 方法 以及 使用 形成 图案 | ||
【主权项】：
一种蚀刻膏，包括:(a)有机粘合剂;(b)磷酸;(c)含氮化合物;以及(d)溶剂。所述(c)含氮化合物包含选自由式1表示的胺类化合物和由式2表示的铵类化合物中至少一种: [式1] (R)n‑N‑Hm(其中，R是Cl至C12烷基或者C6至C12取代的或未取代的芳基;n是1至3的整数;m是0至2的整数;并且n+m为3); [式2] (NH4+)kX‑(其中，X是CO3或OH，k是1或2)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于第一毛织株式会社，未经第一毛织株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180052357.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种制备球形氢氧化镍的方法
- 下一篇：一种多级圆筒筛
