[发明专利]检漏仪有效
| 申请号： | 201180052834.1 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103189724A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 松本善和;濑户规正;中邨大辅;前田章弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供方便使用的优良检漏仪，其不会损害检测灵敏度高，对氦气的反应速度也快等功能，可在测试体开始抽真空后迅速开始泄漏测试。具有质量分析管（2），其检测示踪气体；涡轮分子泵（3），其在外壳（31）内具有多级交替安装在旋转轴（32）上的动叶片（33）和静叶片（34），设置有驱动源（35）来旋转驱动旋转轴。外壳中，与位于最顶端的动叶片33a相对的壁面31a上，与测试体（TP）连通的进气口（36）和连接有质量分析管的连接端口（37）彼此分隔开设。而且，涡轮分子泵的进气口和测试体经连接管连接，将示踪气体从该测试体内导入到质量分析管中进行测漏。 | ||
| 搜索关键词： | 检漏 | ||
【主权项】：
一种检漏仪，其特征在于：具有质量分析管，其检测示踪气体；涡轮分子泵，其在外壳内具有多级交替安装在旋转轴上的动叶片和静叶片，设置有驱动源来旋转驱动旋转轴；该涡轮分子泵的进气口和测试体经连接管连接，从该测试体内将示踪气体导入到质量分析管中进行测漏；所述外壳中，与位于最高真空侧的动叶片相对的壁面上，与测试体连通的进气口和连接有质量分析管的连接端口彼此分隔开设。
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