[发明专利]由固体材料制备化合物或其中间体以及使用该化合物和中间体的设备和方法有效

专利信息
申请号: 201180052929.3 申请日: 2011-08-28
公开(公告)号: CN103201824A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: O·比尔;E·E·琼斯;C·派迪;J·D·斯威尼 申请(专利权)人: 先进技术材料股份有限公司
主分类号: H01L21/265 分类号: H01L21/265
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 代理人: 苏萌;钟守期
地址: 美国康*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 描述了一种设备,包括反应区,用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触,和开口,用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应可在第一反应区进行,而反应物气体与中间产物的反应在第二反应区进行。在具体实施中,反应物气体与中间产物的反应是可逆的,且反应物气体和中间产物以受控速率或以受控方式流入第二反应区,从而抑制形成反应性固体的逆反应。
搜索关键词: 固体 材料 制备 化合物 中间体 以及 使用 设备 方法
【主权项】:
一种设备,包括反应区,用于使气体试剂与固体材料在有效形成中间体物质的温度和压力条件下接触;和开口,用于使气体试剂的未反应部分和中间体物质离开反应区,任选其中开口适于防止其在设备运行过程中堵塞。
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