[发明专利]用于表面辐照的装置有效
| 申请号： | 201180052938.2 | 申请日： | 2011-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103189075A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 赫尔穆特·哈尔夫曼;阿克塞尔·洪巴赫;马库斯·罗特 | 申请（专利权）人： | 欧司朗股份有限公司 |
| 主分类号： | A61L2/10 | 分类号： | A61L2/10;H01J65/04;H01J61/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;李德山 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了辐照表面而提出一种具有辐射器的装置（1），其中所述辐射器具有至少一个隧道状的通孔（3）以及机构（8，11），所述机构设计成，使过程气体流过至少一个隧道状的通孔（3）。由此，能够放弃单独的气体输送装置。可选地，所述装置也能够具有辐射器底座（8），所述辐射器底座具有用于输送和/或输出过程气体的至少一个通气口（12）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面 辐照 装置 | ||
【主权项】：
用于辐照表面的装置（1），所述装置具有：辐射器，所述辐射器包括辐射器容器（2，3，5），其中所述辐射器容器具有至少一个隧道状的通孔（3），以及机构（8，11），所述机构（8，11）设计成使过程气体流过所述至少一个隧道状的通孔。
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