[发明专利]用于沉积含锰膜的二-吡咯-2-醛亚胺化锰前体

摘要

本发明公开了具有式(I)的含锰前体，其中R¹至R⁵各自独立地选自H；直链或支化的C₁-C₄烷基；直链、支化或环状的C₁-C₄烷基甲硅烷基；C₁-C₄烷基氨基；以及直链或支化的C₁-C₄氟烷基。还公开了制备所述含锰前体的方法和使用所述含锰前体在基质上沉积含Mn的膜的方法。

主权项

1.一种用于在基质上沉积含锰的膜的方法，包括如下步骤：a)提供反应器和至少一种置于反应器中的基质；b)向反应器中引入至少一种具有下式的含锰前体的蒸气：其中R¹至R⁵各自独立地选自H；直链或支化的C₁-C₄烷基；直链、支化或环状的C₁-C₄烷基甲硅烷基；C₁-C₄烷基氨基；以及直链、支化或环状的C₁-C₄氟烷基；c)将至少部分的蒸气沉积到基质上以形成含锰的膜。