[发明专利]背衬板、靶组件和溅射靶无效
| 申请号： | 201180053642.2 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103210116A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 田屋和美 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 徐川;张颖玲 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种与接合材料的粘附性优异的背衬板。上述背衬板(1)包括：背衬板主体(11)和金属化层(12)。背衬板主体(11)具有涂覆有由铟、锡或它们的合金形成的接合材料的接合面(11a)，由第一金属材料形成。金属化层(12)形成在接合面(11a)上，由上述第一金属材料与对上述接合材料的润湿性比第一金属材料高的第二金属材料的合金相构成。由此，金属化层(12)与背衬板主体(11)的接合面(11a)一体化，因此防止金属化层(12)从接合面(11a)剥离。另外，上述合金相包含有对接合材料的润湿性高的金属材料，因此能够提高与接合材料的粘附性。 | ||
| 搜索关键词： | 背衬板 组件 溅射 | ||
【主权项】：
一种背衬板，包括：背衬板主体，具有与溅射靶相对的第一表面，由第一金属材料形成；以及粘附层，具有涂覆有由铟、锡或它们的合金形成的接合材料的第二表面，包含有对所述接合材料的润湿性比所述第一金属材料高的第二金属材料，形成在所述第一表面上。
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