[发明专利]用于传输真空电弧等离子体的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于形成真空电弧阴极侵蚀等离子体流以产生高质量涂层的技术。在利用电磁线圈产生的传输磁场的作用下，等离子体流在等离子体光学系统中从电弧蒸发器传输至等离子体源出口。传输磁场由恒定磁场和强度可变附加磁场的叠加产生，该强度可变附加磁场使等离子体流从等离子体源的结构元件的表面偏转。当等离子体流接近等离子体源的结构元件的表面时，对应的附加磁场强度增强，当等离子体流远离该元件的表面时对应的附加磁场强度减弱。在用于实施上述方法的装置中，真空电弧电源（15）通过环绕所述阳极的电磁线圈（16）的绕组与阳极（2）连接。在等离子体光学系统的线性实施例中，阳极（2）内的管（11）的导电部分与电磁偏转线圈（12）的绕组的一端电连接。该绕组的另一端与真空电弧电源（15）的正极端子连接。利用上述方法和装置，显著降低了大粒子自由等离子体的损失。

主权项

一种方法，其响应于由电磁线圈产生的传输磁场在等离子体光学系统中使得具有大粒子过滤的真空阴极电弧等离子体从阴极电弧蒸发器传输到等离子体源出口，其特征在于，所述传输磁场由恒定磁场和强度可变附加磁场的叠加所感应产生，所述强度可变附加磁场使所述等离子体流从所述等离子体源结构元件的表面偏转，这些附加磁场通过使用附加电磁线圈而感应产生，其中，在所述等离子体流接近对应的等离子体源结构元件的所述表面时，对应的所述附加磁场的强度增强，而当所述等离子体流移动远离所述元件的所述表面时，所述附加磁场的强度减弱。