[发明专利]转印装置及树脂图案制造方法

摘要

本发明提供能稳定地连续成形树脂制的柔性模具的转印装置及树脂图案制造方法。在使柔性基材(9)的树脂涂布区域(35)与刚性模具构件(23)相对的状态下，一边在Z轴方向上以规定压力从下方对加压辊(31)进行按压，一边使其朝Y轴正方向移动。此时，柔性基材(9)的右端侧以一定的张力朝右侧斜下方被拉伸。在该状态下，如果将柔性基材(9)上的光固化性树脂(47)一点点逐渐按压于刚性模具构件(23)，则空气从刚性模具构件(23)的凸部和凸部之间的尚未经转印的极小的间隙漏出至外部。因此，即使不将本转印装置(10)置于减压环境下，在光固化性树脂(47)侧也不会有气泡残留。

主权项

转印装置，其包括：具有刚性或柔性的转印构件；具有刚性或柔性的被转印构件；对所述转印构件或所述被转印构件中的任一构件的至少一处规定区域涂布固化性树脂的涂布单元；将所述转印构件和所述被转印构件隔着所述固化性树脂相互转印的转印单元；使所述固化性树脂固化的固化单元；将所述转印后的所述转印构件和所述被转印构件相互剥离的剥离单元；其特征在于，所述转印构件和所述被转印构件中的至少任一构件是具有柔性的构件；所述转印单元包括：加压辊，该加压辊一边对所述转印构件或所述被转印构件中的具有柔性的那个构件进行按压，一边相对于所述转印构件或所述被转印构件中的另一个构件平行地送出进行扫描；张力产生单元，该张力产生单元以所述加压辊为支点，以规定的张力将所述具有柔性的那个构件朝着从所述扫描方向朝前方倾斜的方向牵引。