[发明专利]惯性力传感器有效
| 申请号： | 201180055413.4 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103221777A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 石田贵巳;藤井刚 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5607 | 分类号： | G01C19/5607;G01P15/10;H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张劲松 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 惯性力传感器具备：基体、设于基体的转换器、设于基体且与转换器连接的配线。配线具有：形成于基体上的下部电极层、形成于下部电极层上的压电层、形成于压电层上的电容减少层和形成于电容减少层上的上部电极层。电容减少层的介电常数比压电层的介电常数小。该惯性力传感器能够改善噪声等级。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性力 传感器 | ||
【主权项】：
一种惯性力传感器，具备：基体；设于所述基体的转换器；设于所述基体且与所述转换器连接的配线，所述配线具有：形成于所述基体的上面的第一下部电极层；形成于所述第一下部电极层的上面的第一压电层；形成于所述第一压电层的上面的电容减少层；形成于所述电容减少层的上面的第一上部电极层，所述电容减少层的介电常数比所述第一压电层的介电常数小。
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