[发明专利]微机械整体式六轴惯性传感器有效
| 申请号： | 201180055823.9 | 申请日： | 2011-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN103221779A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | C·阿卡 | 申请（专利权）人： | 快捷半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5755 | 分类号： | G01C19/5755;G01P15/14;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种六自由度(6-DOF)惯性测量系统的装置层可包括位于x-y面的单质量块六轴惯性传感器，所述惯性传感器包括主质量块部件、中心悬置系统和驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，其所述主质量块部件包括向外朝所述六轴惯性传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为在所述单中心支架上悬置所述六轴惯性传感器；所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述六轴惯性传感器围绕垂直于x-y面的z轴以驱动频率振动。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 整体 式六轴 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
一种六自由度(6‑DOF)惯性测量系统，包括装置层、粘合到所述装置层的第一面上的帽晶片、和粘合到所述装置层的第二面上的通孔晶片，其中所述装置层包括在x‑y面中形成的单质量块六轴惯性传感器，所述单质量块六轴惯性传感器包括：主质量块部件，悬置在单中心支架上，所述主质量块部件包括向外朝所述六轴惯性传感器的边缘延伸的放射状部分；中心悬置系统，被配置为在所述单中心支架上悬置所述六轴惯性传感器；和驱动电极，包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述六轴惯性传感器围绕垂直于x‑y面的z轴以驱动频率振动；其中所述帽晶片和所述通孔晶片被配置为封装所述单质量块六轴惯性传感器。
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