[发明专利]快速脉冲气体输送的系统及方法

摘要

本发明公开了用于将所需质量的气体脉冲输送到工具的系统和方法。用于将所需质量的气体脉冲输送到工具的系统包括：气体输送室；第一阀，其布置成用于控制流入到气体输送室内的气体流量；第二阀，其布置成用于控制离开气体输送室的气体流量，使得气体可以脉冲的方式离开气体输送室，每个脉冲所选定的质量根据气体输送室内气体的初始压力以及各个脉冲的持续时间来确定；以及压力控制装置，其配置和布置成用于控制流入到气体输送室内的气体流量，以便在输送气体脉冲之前将气体预先充入到气体输送室内，以达到初始压力设定值，这样在输送气体脉冲之前控制气体输送室内的气体起始压力的差异，并且根据每次脉冲的持续时间来改善质量输送的可重复性。

主权项

用于将所需质量的气体脉冲输送到处理室或处理工具的系统，其包括：气体输送室；第一阀，其布置成用于控制流入到气体输送室内的气体流量；第二阀，其布置成用于控制离开气体输送室的气体流量，使得气体能够以脉冲的方式离开气体输送室，每个脉冲所选定的质量根据气体输送室内气体的初始压力以及各个脉冲的持续时间来确定；以及压力控制装置，其配置和布置成用于控制流入到气体输送室内的气体流量，以便在输送气体脉冲之前将气体预先充入到气体输送室内，以达到初始压力设定值，这样在输送气体脉冲之前控制气体输送室内气体起始压力的差异，并且根据每次脉冲的持续时间来改善质量输送的可重复性。