[发明专利]片状晶圆缺陷减轻无效
| 申请号： | 201180056642.8 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103228824A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 莱奥·万格拉比克;小杰拉尔德·A·辛普森;苏马纳·哈马;史蒂芬·亚马蒂诺 | 申请（专利权）人： | 盛时公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/20;C30B15/26;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李宝泉;周亚荣 |
| 地址： | 美国内*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种形成片状晶圆的方法，该方法在作为晶体生长熔炉的一部分的坩锅中熔化给料材料，以及使多条细丝通过坩埚以形成（未分离的）片状晶圆。多个片状晶圆可以形成在坩埚中的不同通道中。在生长期间，使用一个或多个视觉系统来确定片状晶圆是否具有缺陷状况。如果检测到缺陷，则可以采用多种校正措施中的任何一个，诸如激活切割设备以去除片状晶圆的至少一部分，估计缺陷并且对片状晶圆的一部分进行分级（例如，用于基于该分级来进行分类）和/或产生标记。在多通道实施例中，可以在一个通道中专注于缺陷，而在一个或多个其他通道中继续片生长。 | ||
| 搜索关键词： | 片状 缺陷 减轻 | ||
【主权项】：
一种从片状晶圆形成晶圆产品的方法，所述方法包括：在作为晶体生长熔炉的一部分的坩埚中熔化给料材料；使多条细丝通过所述坩埚，以形成片状晶圆；使用电子视觉系统来确定所述片状晶圆的一部分是否是有缺陷的；以及如果所述部分被认为是有缺陷的，则产生指示所述部分是有缺陷的输出信号。
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