[发明专利]用于减小激光划刻的锥度的方法及设备

摘要

本发明描述用于减小衬底中的激光划刻的锥度的方法及设备。一种方法包含将激光束沿垂直于所述束的第一切割方向的第一方向瞄准所述衬底的表面，且将其沿垂直于所述第一切割方向的第二方向瞄准所述表面。在每一位置中，使所述激光束相对于垂直于所述表面的线以束倾斜角倾斜。通过以下操作在所述表面中形成单个划刻线：在将所述激光束沿所述第一方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述表面且沿所述第一切割方向进行切割，及在将所述激光束沿所述第二方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述表面且沿所述第一切割方向及与所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者进行切割。

主权项

一种减小衬底中的激光划刻的锥度的方法，其包括：将激光束沿垂直于所述激光束的第一切割方向的第一方向瞄准所述衬底的表面，且使所述激光束相对于从所述衬底的所述表面垂直延伸的线以束倾斜角倾斜；将所述激光束沿垂直于所述激光束的所述第一切割方向的第二方向瞄准所述衬底的所述表面，且使所述激光束相对于从所述衬底的所述表面垂直延伸的所述线以所述束倾斜角倾斜；及通过以下操作在所述衬底的所述表面中形成单个划刻线：在将所述激光束沿所述第一方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向进行切割；及在将所述激光束沿所述第二方向瞄准的同时将所述激光束施加到所述衬底的所述表面且沿所述第一切割方向及与所述第一切割方向相反的第二切割方向中的一者进行切割。