[发明专利]氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、氧化物透明导电膜及其制造方法、和太阳能电池有效
| 申请号： | 201180057433.5 | 申请日： | 2011-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103237773A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 仓持豪人;松丸庆太郎;秋池良;内海健太郎;涩田见哲夫 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/00 | 分类号： | C04B35/00;C23C14/34;H01B1/08;H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供氧化物烧结体（2）和溅射靶材，所述氧化物烧结体（2）由方铁锰矿型氧化物相和钙钛矿型氧化物相的晶相、或方铁锰矿型氧化物相的晶相构成，晶相具有铟、锡、锶和氧作为构成元素，铟、锡和锶的含量按原子比计满足下述式（1）和（2）。另外，提供使用溅射靶材形成的氧化物透明导电膜和太阳能电池。Sn/（In+Sn+Sr）=0.01～0.11（1）Sr/（In+Sn+Sr）=0.0005～0.004（2）[上述式（1）和（2）中，In、Sn、Sr分别表示铟、锡和锶的含量（原子%）]。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 烧结 及其 制造 方法 溅射 透明 导电 太阳能电池 | ||
【主权项】：
一种氧化物烧结体，其由方铁锰矿型氧化物相和钙钛矿型氧化物相、或方铁锰矿型氧化物相的晶相构成，所述晶相具有铟、锡、锶和氧作为构成元素，铟、锡和锶的含量按原子比计满足下述式（1）和（2），Sn/（In+Sn+Sr）=0.01～0.11 （1）Sr/（In+Sn+Sr）=0.0005～0.004 （2）上述式（1）和（2）中，In、Sn、Sr分别表示铟、锡和锶的含量（原子%）。
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