[发明专利]微机电类型的谐振双轴加速度计结构

摘要

一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)具有：惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上，弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2；2’)，以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。

主权项

一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)，包括：‑惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在所述衬底(30)之上，所述弹性元件(8)被配置成响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现所述惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及‑至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿所述第一检测轴线(x)和所述第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过所述弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到所述惯性质量体(2；2’)，以便在所述惯性质量体分别沿所述第一检测轴线(x)和沿所述第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。