[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光显示装置的制造方法有效
| 申请号： | 201180061824.4 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103270189A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的蒸镀装置（50）是对被成膜基板（60）进行成膜的蒸镀装置，其具备：具有射出蒸镀颗粒的射出口（81）的蒸镀源（80）；向蒸镀源（80）供给蒸镀颗粒的蒸镀源坩埚（82）；通过使蒸镀源（80）旋转来使蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的旋转电动机（86）。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 有机 电致发光 显示装置 制造 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其对被成膜基板进行成膜，该蒸镀装置的特征在于，包括：具有射出蒸镀颗粒的射出口的蒸镀源；向所述蒸镀源供给所述蒸镀颗粒的蒸镀颗粒供给单元；和使所述蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的射出量控制单元。
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