[发明专利]基底保持器中气体泄漏控制的系统与方法

摘要

一种静电钳，包括用于加热基底的加热组件，加热组件具有朝向基底设置的第一表面以及在第一表面对向的第二表面。基座经布置以连结于加热组件的第二表面的至少一部份。经连结的基座以及加热组件共同定义加热组件的第一部分与基座之间的内间隙。外间隙以同心于加热组件的第二部份与基座之间的内间隙的方式布置，藉由形成于加热组件的第二表面以及基座之间的第一封合表面来将内间隙以及外间隙彼此隔离。

主权项

一种静电钳，其特征在于，包括：加热组件，用于加热基底，所述加热组件具有朝向所述基底设置的第一表面以及在所述第一表面对向的第二表面；以及基座，经布置以连结所述加热组件的所述第二表面的至少一部份；经连结的所述基座以及所述加热组件共同定义出：内间隙，在所述加热组件的第一部分与所述基座之间；以及外间隙，同心于所述内间隙，且布置于所述加热组件的第二部份与所述基座之间，藉由形成于所述加热组件的所述第二表面以及所述基座之间的第一封合表面来将所述内间隙以及所述外间隙彼此隔离。