[发明专利]真空处理设备

摘要

为了缩短由运输腔室(1)中的运输布置(5)所服务的真空处理腔室(13)的抽吸时间，真空处理腔室（13）分成工件处理隔室（13T）和抽吸隔室（13P），工件处理隔室（13T）和抽吸隔室（13P）彼此自由流动连通、并且布置成相对于服务真空处理腔室（13）的运输布置（5）的移动路径（S）而彼此相对布置。抽吸隔室（13P）允许提供可独立于处理隔室（13T）的几何形状而自由选择流动横截面积的抽吸端口（18）。

主权项

一种真空处理设备，包括：真空处理腔室(13, 73)；真空运输腔室(1, 61)，包括运输布置(5, 65)，具有沿着移动路径（S）可驱动地移动的至少一个工件支承件(7, 81)；所述运输腔室(1, 61)经由开口(11, 71)连通，构思为通过所述开口(11, 71)传递所述运输布置(5, 65)的至少一部分、所述工件支承件(7, 81)以及其中的工件(7, 107)，所述真空处理腔室(13, 73)在所述移动路径（S）的一侧上包括工件处理隔室(13T, 75T)、和相对于所述移动路径(S)与所述工件处理隔室(13T, 75T)相对着的抽吸隔室(13P, 75P)，所述抽吸隔室(13P, 75P)包括抽吸端口(18, 101)，可控制的密封布置(17, 17a, 109, 79, 87, 83, 85)，可控制地密封着介于所述运输腔室(1, 61)与所述抽吸端口(18, 101)之间的所述开口(11, 71)。