[发明专利]使用峰值力轻敲模式来测量样本的物理特性的方法和设备有效
| 申请号： | 201180064557.6 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103328984A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 史建;胡焰;胡水清;马骥;苏全民 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q60/34 | 分类号： | G01Q60/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;陈炜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 改进的AFM成像模式（峰值力轻敲（PFT）模式）使用力作为反馈变量来减小尖端-样本相互作用力，同时维持可通过所有现有的AFM操作模式实现的扫描速度。以改进的分辨率和高样本吞吐量实现了样本成像和机械特性映射，其中该模式可在各种环境中工作，包括气体、流体和真空。通过消除对专业用户监测成像的需要，有利于易用性。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 峰值 力轻敲 模式 测量 样本 物理 特性 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种操作扫描探针显微镜SPM的方法，包括：产生探针与样本之间的基本上周期性的相对运动；检测所述探针的运动；从所检测的探针运动恢复当所述探针与所述样本相互作用时所述探针与所述样本之间的基本上瞬时力；确定与所恢复的基本上瞬时力相关联的感兴趣时间区间；生成所述探针与所述样本之间的激励信号；以及在所述探针与所述样本之间的相互作用周期内的所述感兴趣时间区间中，与所述生成步骤同步地测量所述探针的响应。
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