[发明专利]用于溅射用旋转靶的接合组合物和使用其的旋转靶接合方法有效
| 申请号： | 201180065900.9 | 申请日： | 2011-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN103328682A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | W.R.辛普森;韩淳锡 | 申请（专利权）人： | 普兰西公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/00;B23K35/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及用于溅射用旋转靶的接合组合物和使用其的旋转靶的接合方法。根据本发明，该用于溅射用旋转靶的接合组合物将溅射用旋转靶的圆柱形靶接合到圆柱形背管的外周表面，其中所述旋转靶能旋转地安装在溅射用腔室中以在通过驱动马达旋转的同时施加高的电压，其中所述用于将靶接合到背管的外周表面的用于溅射的接合组合物包括50到54重量%的铋和46到50重量%的锡(Sn)的混合物。另外，提供使用所述用于旋转靶的接合组合物接合溅射用旋转靶的方法。根据本发明，溅射用旋转靶的生产成本显著降低。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 旋转 接合 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
用于将溅射用旋转靶的圆柱形靶接合到圆柱形背管的外周表面的组合物，所述旋转靶能旋转地安装在溅射用腔室中以在通过驱动马达旋转的同时施加高的电压，其中所述组合物包括50到54重量%的铋(Bi)和46到50重量%的锡(Sn)。
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