[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的制造方法以及印刷布线板的制造方法无效
申请号: | 201180065990.1 | 申请日: | 2011-12-07 |
公开(公告)号: | CN103339568A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 宫坂昌宏;远藤昌树;栉田昌孝 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/033 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽;陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明为一种感光性树脂组合物,其含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键及氧丁烯基的聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感色素,且满足下述(1)及(2)所示的至少一个条件:(1)所述增感色素含有选自吡唑啉化合物、蒽化合物以及三芳基胺化合物中的至少1种化合物;(2)所述粘合剂聚合物含有来自于选自(甲基)丙烯酸苄酯及(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中的至少1种的结构单元。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 元件 图案 制造 方法 以及 印刷 布线 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其含有(A)成分:粘合剂聚合物、(B)成分:具有烯键式不饱和键及氧丁烯基的聚合性化合物、(C)成分:光聚合引发剂、以及(D)成分:增感色素,所述感光性树脂组合物满足下述(1)及(2)所示的至少一个条件:(1)所述增感色素含有选自吡唑啉化合物、蒽化合物以及三芳基胺化合物中的至少1种化合物;(2)所述粘合剂聚合物含有来自于选自(甲基)丙烯酸苄酯及(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中的至少1种的结构单元。
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