[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的制造方法以及印刷布线板的制造方法无效

专利信息
申请号: 201180065990.1 申请日: 2011-12-07
公开(公告)号: CN103339568A 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 宫坂昌宏;远藤昌树;栉田昌孝 申请(专利权)人: 日立化成株式会社
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/033
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 白丽;陈建全
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明为一种感光性树脂组合物,其含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键及氧丁烯基的聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感色素,且满足下述(1)及(2)所示的至少一个条件:(1)所述增感色素含有选自吡唑啉化合物、蒽化合物以及三芳基胺化合物中的至少1种化合物;(2)所述粘合剂聚合物含有来自于选自(甲基)丙烯酸苄酯及(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中的至少1种的结构单元。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 元件 图案 制造 方法 以及 印刷 布线
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,其含有(A)成分:粘合剂聚合物、(B)成分:具有烯键式不饱和键及氧丁烯基的聚合性化合物、(C)成分:光聚合引发剂、以及(D)成分:增感色素,所述感光性树脂组合物满足下述(1)及(2)所示的至少一个条件:(1)所述增感色素含有选自吡唑啉化合物、蒽化合物以及三芳基胺化合物中的至少1种化合物;(2)所述粘合剂聚合物含有来自于选自(甲基)丙烯酸苄酯及(甲基)丙烯酸苄酯衍生物中的至少1种的结构单元。
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