[发明专利]带电粒子线装置

摘要

提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。

主权项

一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；检测由所述扫描得到的反射电子或者二次电子的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于，该带电粒子线装置具备：收纳所述试料，相对于装置设置面支承所述带电粒子线装置整体的第2箱体；设置在该第2箱体上，支承所述带电粒子光学镜筒的第1箱体；以及设置在所述第1箱体的底面，使所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜，在装置动作时，由所述带电粒子光学镜筒、所述第1箱体以及所述薄膜围成的封闭空间内被真空排气，所述第2箱体向大气开放。